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抽真空步骤有哪些?
发布时间:2014-11-29 浏览:5321 次

  首先检查真空容器所处状态,处于真空下或者处于大气中。决定了两种启动真空设备的程序:第一种,真空下操作程序。第二种,大气状态下操作程序。

  1、如果容器处于低真空状态下,不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。

  正确的操作步骤是先打开水龙头,然后打开机械泵,同时打开真空计电源,观察真空计读数到达30Pa左右时,再打开分子泵,看到分子泵的工作频率达到50Hz左右时方可打开闸板阀。

  2、如果容器处于大气下,首先要做的是检查大漏,即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头,闸板阀,机械泵,真空计电源,观察真空计读数到达30Pa左右时,再打开分子泵。

  3、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz),按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。

  4、在真空达到 Pa时可以打开离子泵,此时先关闭分子泵处的闸板阀,但不要关闭分子泵,等到离子泵的电压达到4000V时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵,机械泵。

  5、如果不需要维持真空时,先关掉真空计电源,后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可,不关闭离子泵,而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。

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